如(ru)何(he)维(wei)护使用RTP快(kuai)速(su)退(tui)火炉

1）炉(lu)子使(shi)用(yong)或长(zhang)时间不(bu)用(yong)后(hou)，要在(zai)120℃左右(you)烘(hong)烤1小时(shi)，在300℃左(zuo)右烘(hong)烤(kao)2小时后使(shi)用(yong)，以(yi)免(mian)造(zao)成炉膛开(kai)裂。炉温尽(jin)量(liang)不(bu)要超(chao)过(guo)额(e)定(ding)温度，以(yi)免(mian)损坏(huai)加热元(yuan)件(jian)及炉衬。禁(jin)止(zhi)向炉膛(tang)内(nei)直接灌(guan)注(zhu)各种液(ye)体(ti)及溶解金属，保持(chi)炉(lu)内(nei)的清洁(jie)。

2） 炉(lu)膛若(ruo)采(cai)用(yong)石英管(guan)，当温(wen)度高(gao)于(yu)1000℃时(shi)，石英管的高(gao)温(wen)部分会(hui)出(chu)现(xian)不(bu)透(tou)明现(xian)象，这叫失(shi)透(tou)(又叫(jiao)析(xi)晶性)是连熔(rong)石英管(guan)的一(yi)个固有(you)缺(que)陷，属(shu)正常现象(xiang)。

3） 冷(leng)炉使(shi)用(yong)时，由(you)于(yu)炉膛(tang)是冷的，须大量吸(xi)热(re)，所以(yi)低温段升(sheng)温(wen)速(su)率不(bu)易过(guo)快(kuai)，各温度(du)段的升(sheng)

温速(su)率(lv)差别(bie)不易(yi)太大，设(she)置(zhi)升温(wen)速(su)率(lv)时应(ying)充(chong)分考(kao)虑(lv)所(suo)烧(shao)结(jie)材料(liao)的物(wu)理化(hua)学性(xing)质，以(yi)免(mian)出现(xian)喷(pen)料(liao)现(xian)象，污染(ran)炉管(guan)。

4）定(ding)期检(jian)查温(wen)度(du)控制系(xi)统的(de)电(dian)器连(lian)接(jie)部分(fen)的(de)接触(chu)是(shi)否良(liang)好，应特别(bie)注意(yi)加热元件的各连接点的连接是(shi)否(fou)紧(jin)固。

5）炉(lu)子使用过一段(duan)时(shi)间后(hou)，若真(zhen)空度(du)降低(di)，可(ke)分(fen)别(bie)更(geng)换(huan)不(bu)锈钢(gang)法(fa)兰盘之(zhi)间(jian)的耐(nai)温硅(gui)胶(jiao)圈或重(zhong)新安装不锈(xiu)钢(gang)法兰(lan)盘或更换(huan)修(xiu)理真空系(xi)统，以(yi)提(ti)高系(xi)统的整(zheng)体(ti)真空(kong)度(du)。

6）炉子在工作(zuo)过(guo)程中，一(yi)般(ban)在300℃左右若(ruo)控制(zhi)偏差还不(bu)能(neng)消(xiao)除，出(chu)现温度(du)显(xian)示(shi)值与程序(xu)给(gei)定值(zhi)不符(fu)或(huo)摆(bai)动过(guo)大(da)，检(jian)查参数“M5、P、t”设(she)置(zhi)是(shi)否。