真(zhen)空快(kuai)速退(tui)火炉的(de)应用领域(yu)和(he)使(shi)用(yong)注意事项
更新(xin)时间(jian):2019-07-16 点(dian)击次(ci)数(shu):6240
真空(kong)快(kuai)速退火(huo)炉(lu)用于(yu)小零(ling)件(jian)等在真(zhen)空状态下的退(tui)火;炉(lu)罐密封性好,有(you)效的避免(mian)了工件在退(tui)火(huo)处理(li)中(zhong)的表面(mian)氧化(hua)、生(sheng)锈(xiu),提高了处理质(zhi)量(liang);
真空(kong)快(kuai)速退(tui)火(huo)炉应用(yong)领(ling)域介绍:
- 离(li)子(zi)注(zhu)入/接触(chu)退(tui)火(huo);
- 快速热处(chu)理(li)(RTP),快速退(tui)火(RTA),快速热氧化(hua)(RTO),快速(su)热(re)氮化(RTN);
- 可(ke)在(zai)真空、惰(duo)性(xing)气氛(fen)、氧气(qi)、氢气、混合气(qi)等(deng)不同环(huan)境(jing)下使用(yong);
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介电材料(liao);
- 晶(jing)体(ti)化,致密化;
- 太阳能电(dian)池片键合;
真(zhen)空快速退(tui)火(huo)炉(lu)使(shi)用的(de)注(zhu)意(yi)事项有:
1. 炉子(zi)使用(yong)或(huo)长(zhang)时间不用(yong)后(hou),要(yao)在(zai)120℃左(zuo)右烘烤1小时(shi),在(zai)300℃左右(you)烘烤2小时(shi)后(hou)使(shi)用(yong),以(yi)免(mian)造(zao)成(cheng)炉(lu)膛(tang)开裂(lie)。炉(lu)温尽量不(bu)要超过(guo)额定温(wen)度,以免(mian)损坏(huai)加热元(yuan)件及(ji)炉衬(chen)。禁(jin)止(zhi)向(xiang)炉膛内直(zhi)接(jie)灌(guan)注各(ge)种液体(ti)及溶解金属,保(bao)持(chi)炉(lu)内(nei)的(de)清洁(jie)。
2. 炉(lu)膛若采(cai)用(yong)石(shi)英管(guan),当温度(du)高(gao)于1000℃时,石英(ying)管(guan)的高(gao)温部(bu)分(fen)会(hui)出现不透明现(xian)象,这(zhe)叫失透(又叫析(xi)晶(jing)性(xing))是连(lian)熔(rong)石(shi)英管(guan)的一个固有缺(que)陷(xian),属(shu)正(zheng)常(chang)现象(xiang)。
3. 冷(leng)炉使用时(shi),由于炉膛是(shi)冷的,须(xu)大量吸(xi)热(re),所以低温段(duan)升(sheng)温(wen)速率(lv)不(bu)易过快,各(ge)温(wen)度段的升
温速率差(cha)别不(bu)易(yi)太大(da),设置升温(wen)速率(lv)时(shi)应充分考(kao)虑(lv)所(suo)烧结材料(liao)的(de)物理(li)化学(xue)性质,以免出(chu)现喷料现(xian)象,污(wu)染炉(lu)管(guan)。
4. 定(ding)期检查(cha)温度(du)控制系(xi)统(tong)的电器连接部(bu)分的(de)接(jie)触(chu)是(shi)否(fou)良好,应(ying)特(te)别注意加(jia)热元件(jian)的(de)各连(lian)接点(dian)的(de)连接是否(fou)紧(jin)固。
5. 炉(lu)子使用(yong)过(guo)一段时(shi)间(jian)后(hou),若(ruo)真空度(du)降(jiang)低(di),可(ke)分别(bie)更换不(bu)锈(xiu)钢(gang)法(fa)兰盘(pan)之间的(de)耐温硅胶(jiao)圈或(huo)重新(xin)安装不(bu)锈(xiu)钢法兰盘(pan)或更换修理真(zhen)空系统(tong),以提高(gao)系统的(de)整(zheng)体真(zhen)空(kong)度(du)。
6. 炉(lu)子(zi)在(zai)工(gong)作(zuo)过(guo)程(cheng)中,一(yi)般在300℃左右(you)若控(kong)制偏差(cha)还不能(neng)消除,出现(xian)温度(du)显(xian)示值(zhi)与程序给(gei)定(ding)值(zhi)不符或摆(bai)动(dong)过大(da),检(jian)查(cha)参数“M5、P、t”设置(zhi)是否。