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质(zhi)量(liang)流量(liang)控制(zhi)系统(tong)在使用(yong)上(shang)主(zhu)要(yao)有(you)四(si)大(da)优(you)点！
更(geng)新时(shi)间(jian)：2020-05-12 点击次(ci)数(shu)：6563
质量流(liu)量(liang)控(kong)制系(xi)统(tong)一(yi)款多(duo)路质量流量(liang)计控制系(xi)统，其(qi)质量流量计(ji)和不(bu)锈(xiu)钢(gang)混(hun)气(qi)罐(guan)都安装(zhuang)在一(yi)个(ge)移(yi)动(dong)柜(gui)里，移(yi)动柜(gui)Z大(da)可以(yi)承重1000Lbs，所(suo)以在(zai)与(yu)本(ben)公司大多(duo)数管(guan)式炉配套(tao)使用(yong)时，可(ke)将(jiang)设备置于移动(dong)柜(gui)上(shang)以节(jie)约(yue)空间。各(ge)通(tong)道(dao)气(qi)路(lu)的流(liu)量(liang)设(she)定和状态(tai)显示都(dou)集中(zhong)在一(yi)个(ge)7“的触摸屏(ping)上，同(tong)时可以(yi)实时(shi)查看(kan)气(qi)体(ti)流(liu)量曲(qu)线和数据。此款设(she)备广泛的用(yong)于材料界中CVD实验和各种材料(liao)的退火(huo)实(shi)验。
该(gai)系(xi)统采(cai)用带背(bei)光宽(kuan)温点阵(zhen)型(xing)液(ye)晶显(xian)示(shi)器(qi)，所有(you)显(xian)示都(dou)是中文,功能(neng)多而实用(yong)，特别(bie)方便使用(yong)者(zhe)操(cao)作，减(jian)少(shao)不必(bi)要的麻烦和错误(wu)。该系统(tong)无(wu)需(xu)预热、瞬间启(qi)动(dong)的(de)特点(dian)使得(de)系(xi)统(tong)在(zai)短(duan)短(duan)一秒钟内就能开(kai)始控制真空镀(du)膜(mo)过程(cheng)系(xi)统的(de)流(liu)量(liang)，实(shi)时测(ce)量(liang)显示(shi)质(zhi)量(liang)流量、体(ti)积(ji)流量、 压力(li)和(he)温(wen)度参数， 并(bing)将(jiang)运(yun)用温度(du)与压(ya)力(li)对流(liu)量参数(shu)进行充(chong)分(fen)补充(chong)。气(qi)体模(mo)块(kuai)程(cheng)序(xu)直(zhi)接通过质(zhi)量流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)自带(dai)的屏幕显示(shi)，并(bing)可直(zhi)接通(tong)过(guo)屏(ping)蒂按钮操(cao)作(zuo)切(qie)换(huan)气(qi)体种类。
该系统的主要优(you)点(dian)有(you)：
1、地(di)定(ding)量(liang)控(kong)制流量：
该仪(yi)器可以(yi)有效地(di)控制(zhi)气体的给定量(liang)，这(zhe)对(dui)很多工艺(yi)过程的流(liu)量控(kong)制(zhi)﹑对(dui)于(yu)不同(tong)气(qi)体(ti)的(de)比(bi)例控(kong)制(zhi)等特别有用。
2、适用(yong)范(fan)围宽(kuan)：
有(you)很宽(kuan)的工(gong)作(zuo)压力(li)范围，我(wo)们(men)的(de)系统可以从真(zhen)空(kong)直到(dao)10MPa；可(ke)以适(shi)用于多种气(qi)体介质；有(you)很(hen)宽的(de)流(liu)量范围(wei)，我们的系统(tong)小(xiao)流量(liang)范(fan)围(wei)可(ke)达(da)0～5sccm，大(da)流量(liang)范(fan)围可(ke)达(da)0～200slm。流量(liang)显示的分(fen)辨(bian)率可达(da)满量(liang)程(cheng)的(de)0.1%，流(liu)量控(kong)制范围(wei)是(shi)满(man)量程(cheng)的(de)2~100%（量程(cheng)比为(wei)--50:1），因此质量(liang)流量控(kong)制系(xi)统在很(hen)多(duo)领域(yu)得(de)到(dao)广泛应(ying)用(yong)。
3、流量(liang)的测量(liang)和控制不因温(wen)度或压(ya)力的波(bo)动(dong)而失(shi)准(zhun)：
对(dui)于多数流(liu)量测(ce)控系统(tong)而(er)言，很(hen)难(nan)避(bi)免系统的(de)压力波(bo)动及环境和(he)介质(zhi)的温(wen)度(du)变化(hua)。对(dui)于普通(tong)的流(liu)量(liang)计(ji)，压力及温度(du)的波动(dong)将(jiang)导(dao)致较(jiao)大的(de)误(wu)差(cha)；对(dui)于(yu)质(zhi)量(liang)流量控制器(qi)则(ze)一(yi)般可以(yi)忽略不计(ji)。
4、测(ce)量(liang)控(kong)制(zhi)的(de)自动化：
该系(xi)统可(ke)以(yi)将(jiang)流量测量值(zhi)以(yi)输(shu)出(chu)标准电(dian)信号输出。这(zhe)样很容(rong)易实(shi)现(xian)对流量(liang)的(de)数(shu)字显(xian)示(shi)﹑累(lei)积(ji)流量自动(dong)计(ji)量(liang)﹑数(shu)据(ju)自(zi)动记(ji)录(lu)﹑计(ji)算(suan)机(ji)管(guan)理(li)等(deng)。对质量(liang)流量控(kong)制(zhi)系统(tong)而言，还(hai)可以实(shi)现流(liu)量(liang)的(de)自动(dong)控制。通常(chang)，模(mo)拟的(de)MFC/MFM输入输出信(xin)号(hao)为(wei)0~+5V或(huo)4~20mA，数(shu)字(zi)式MFC/MFM还配(pei)有(you)RS232或RS485数字(zi)串行(xing)通(tong)讯口，该(gai)系(xi)统能非常方(fang)便(bian)地与(yu)计算(suan)机连(lian)接，进行自动(dong)控(kong)制。
