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产(chan)品目录(lu) / Product catalog

高温(wen)水(shui)氧(yang)腐蚀测(ce)试仪

焦(jiao)耳热快烧(shao)炉(lu)

热分析系(xi)列(lie)仪器(qi)

可视(shi)化高温(wen)接触角(jiao)测量(liang)仪

可(ke)视化(hua)高温(wen)形(xing)变分(fen)析(xi)仪

可(ke)视(shi)化(hua)超(chao)高(gao)温形(xing)变(bian)分析仪(yi)

高温可(ke)视化原(yuan)位(wei)试(shi)验机

光学热膨(peng)胀仪

工业炉(lu)

排(pai)胶预(yu)烧(shao)一体(ti)炉

钟(zhong)罩(zhao)炉

真空钎(qian)焊(han)炉(lu)

箱(xiang)式电炉(lu)系列

不锈钢节能(neng)箱(xiang)式(shi)电炉(lu)

节(jie)能箱(xiang)式(shi)电炉

真空(kong)气氛箱式电(dian)炉

坩埚炉

管式电炉系(xi)列(lie)

不锈(xiu)钢(gang)真空气(qi)氛(fen)管(guan)式炉(lu)

开启式(shi)-真空(kong)气氛(fen)管式电(dian)炉(lu)

开(kai)启式(shi)大管径真(zhen)空(kong)气氛(fen)管炉(lu)

多工位(wei)-真空(kong)气氛管式(shi)电炉(lu)

RTP快(kuai)速退(tui)火炉(lu)

1400℃真(zhen)空(kong)气氛(fen)管(guan)式(shi)炉(lu)

1600℃真(zhen)空(kong)气(qi)氛(fen)管(guan)式(shi)炉

1800℃真(zhen)空气(qi)氛(fen)管(guan)式(shi)炉(lu)

高(gao)通量(liang)模块化(hua)烧(shao)结系(xi)统(tong)

立式管式(shi)电炉(lu)

立式(shi)淬火(huo)炉(lu)

立(li)式(shi)高温(wen)管式炉

旋(xuan)转管(guan)式电炉(lu)

自动(dong)进(jin)出料(liao)旋转管式烧(shao)结(jie)炉(lu)

旋(xuan)转(zhuan)管式炉(lu)

CVD系统(tong)/PECVD系(xi)统

PECVD系统(tong)

CVD系(xi)统

真(zhen)空/鼓(gu)风干(gan)燥(zao)箱系(xi)列

电热真(zhen)空(kong)干(gan)燥箱(xiang)

电热(re)鼓(gu)风干燥箱(xiang)

3D陶瓷(ci)打印(yin)

技术文(wen)章Article 当(dang)前(qian)位置：首页> 技(ji)术(shu)文章> 管式真空(kong)炉(lu)的相关操(cao)作说(shuo)明

管(guan)式(shi)真(zhen)空(kong)炉的相(xiang)关操(cao)作说明(ming)

更(geng)新时(shi)间(jian)：2023-03-02 点(dian)击次(ci)数：4221

管(guan)式(shi)真(zhen)空(kong)炉(lu)具有(you)使(shi)用简(jian)单(dan)、运行(xing)可靠、抗干扰(rao)能力(li)强、控(kong)制稳定(ding)、调整方便(bian)、美观(guan)适用等特点(dian)，可应(ying)用(yong)于(yu)小(xiao)型(xing)钢(gang)件的淬火、退火、回火(huo)热(re)处理(li)，以(yi)及立式(shi)CVD镀膜等。设备可(ke)在气(qi)氛(fen)状(zhuang)态、真空(kong)状(zhuang)态下运行，也可作(zuo)为普通管式(shi)炉(lu)使用，适用(yong)于(yu)高(gao)校(xiao)实(shi)验室(shi)及科研院所(suo)等(deng)单(dan)位，也(ye)可使(shi)用(yong)于企(qi)业小批量生(sheng)产用。

操作说明(ming)：

1、设(she)计升降温(wen)曲(qu)线(xian)：

除(chu)了实验(yan)的需要(yao)外，还(hai)要(yao)考虑(lv)管式(shi)炉(lu)的(de)使用(yong)范(fan)围。

当(dang)炉管(guan)采用(yong)刚(gang)玉(yu)炉(lu)管：各(ge)温区(qu)的升(sheng)﹑降(jiang)温速(su)率不(bu)宜过快 (≤5℃)。高(gao)使用温(wen)度可(ke)以在(zai)1200℃以上

当(dang)炉管采用石(shi)英管(guan)：升(sheng)温(wen)速率≤10℃，降温(wen)速率(lv)≤15℃. 使用高(gao)温(wen)度不(bu)要超过1100℃

采用(yong)硅钼棒为(wei)加热原(yuan)件时，不(bu)应该(gai)在(zai)400℃至(zhi)700℃温度(du)范围(wei)长时间保(bao)温内使(shi)用，否(fou)则(ze)硅钼(mu)棒(bang)将(jiang)会(hui)发生低温氧化(hua)致使元件毁坏(huai)。

使用(yong)温(wen)度不(bu)要超过(guo)真(zhen)空管式炉(lu)的允(yun)许(xu)高加(jia)热温(wen)度(du)，并(bing)且(qie)在(zai)高加(jia)热温(wen)度使用(yong)时(shi)间(jian)不(bu)宜过(guo)长，不(bu)宜(yi)超过1小时

2. 管式真空(kong)炉(lu)一(yi)次(ci)使(shi)用(yong)或(huo)长(zhang)时间闲置(zhi)再(zai)使用时，要进(jin)行预(yu)烘(hong)，既在(zai)120℃左(zuo)右(you)烘(hong)烤(kao)1小(xiao)时，在(zai)300℃左右烘(hong)烤(kao)2小时(shi)后再使用(yong)，以免造成(cheng)炉膛破(po)损。

3. 装(zhuang)样(yang)时(shi)将(jiang)样(yang)品(pin)舟(zhou)推(tui)入刚(gang)与(yu)管(guan)炉(lu)膛(tang)中(zhong)部，尽量靠(kao)近中(zhong)间位置。

4. 两(liang)端(duan)塞上隔(ge)热(re)炉(lu)塞，减少热辐(fu)射(she)损失。

5. 装上(shang)气(qi)炉法兰，确(que)认(ren)密(mi)封垫(dian)落(luo)入(ru)槽(cao)中。

6. 通烧(shao)结气体(ti)的(de)操作(zuo)步骤：

关闭工(gong)作(zuo)气(qi)体(ti)气(qi)路(lu)，将管(guan)式炉气体(ti)出口(kou)端连接真(zhen)空(kong)泵。

打(da)开真(zhen)空泵(beng)电(dian)源，打(da)开出气(qi)阀，抽(chou)空管(guan)体(ti)和气(qi)体(ti)管路。

当(dang)管(guan)式(shi)炉(lu)真空表(biao)到(dao)-0.1(指针(zhen)到(dao)尽(jin)头(tou)时(shi))，关闭进气(qi)阀(fa)。静(jing)置(zhi)一小(xiao)时，管(guan)式(shi)炉(lu)真(zhen)空(kong)表(biao)不移动仍为-0.1时(shi)，说(shuo)明(ming)管式(shi)炉(lu)密(mi)封(feng)性(xing)良(liang)好，否(fou)则(ze)要(yao)找出(chu)漏(lou)气(qi)点改(gai)正。也(ye)可(ke)以使(shi)用(yong)惰性气(qi)体加(jia)压(ya)的(de)方(fang)式(shi)测(ce)试(shi)气(qi)密性(xing)，加压(ya)一(yi)般(ban)不超过(guo)0.05Mpa。

旋动旋钮(niu)开(kai)气瓶主(zhu)阀(fa)，缓(huan)慢(man)打开(kai)出(chu)口(kou)减压阀，使(shi)出口气压(ya)在(zai)合(he)理(li)范(fan)围。(压(ya)力(li)表(biao)上有适用范(fan)围(wei))。

缓慢打开管(guan)式炉(lu)进气阀;同(tong)时关(guan)注管式炉气(qi)压表(biao)，确(que)认气(qi)压(ya)在(zai)0.05MPa以(yi)下(如气压高于0.05MPa，使用管(guan)式炉(lu)出(chu)气(qi)阀(fa)放(fang)气(qi))。

管式(shi)炉气(qi)压(ya)表(biao)当气(qi)压(ya)稳定时(shi)，关闭管式(shi)炉进(jin)气阀，打开出气(qi)阀(fa)，抽真空(kong)到(dao)-0.1，关(guan)管(guan)式(shi)炉(lu)出气(qi)阀。

重复抽(chou)气(qi)三次(ci)后(hou)，关闭进(jin)气阀和出气(qi)阀，将出气(qi)孔(kong)接到(dao)锥形(xing)瓶。

打开管(guan)式炉进(jin)气阀，打出(chu)气阀(fa)，使(shi)锥(zhui)形(xing)瓶(ping)中气(qi)泡出现的(de)速度(du)为(wei)2个/s。排(pai)除的(de)气(qi)体(ti)要(yao)排到(dao)室(shi)外或者排风(feng)柜(gui)内。

通(tong)气十分(fen)钟(zhong)之后(hou)再(zai)开始加(jia)热。

上(shang)一(yi)篇(pian)：在(zai)操作高真(zhen)空(kong)扩(kuo)散(san)泵时(shi)，需要注意以(yi)下几点(dian)

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