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新闻中(zhong)心(xin)> 与传(chuan)统(tong)设备相比，CVD系统(tong)具(ju)有(you)什(shen)么特点(dian)？
与(yu)传统(tong)设(she)备相(xiang)比，CVD系(xi)统(tong)具有(you)什(shen)么特点？
更(geng)新(xin)时(shi)间(jian)：2021-04-07 点(dian)击(ji)次数：6178
CVD系(xi)统(tong)以进(jin)口(kou)电阻丝瑞典为(wei)加(jia)热元件(jian)，采(cai)用(yong)双(shuang)层壳体结构(gou)和(he)日本岛电(dian)控(kong)温仪表，能(neng)进(jin)行40段(duan)程(cheng)序控温，移相触(chu)发、可控(kong)硅(gui)控制，炉(lu)膛采用氧(yang)化(hua)铝多(duo)晶(jing)纤维材(cai)料，具(ju)有(you)温场(chang)均(jun)衡、表(biao)面温(wen)度低(di)、升降(jiang)温(wen)度速(su)率(lv)快(kuai)、节(jie)能等优点(dian)，是(shi)高校、科研(yan)院(yuan)所(suo)、工矿(kuang)企业做高温(wen)气氛烧结(jie)、气(qi)氛还原(yuan)、CVD实(shi)验(yan)、真(zhen)空(kong)退火用的(de)理(li)想产品(pin)。
适(shi)用范(fan)围：
CVD系统设备可在(zai)片(pian)状或(huo)类(lei)似形状样(yang)品表(biao)面(mian)沉(chen)积SiOx、SiNx、非晶硅(gui)、微(wei)晶硅(gui)、纳米硅(gui)、SiC、类金(jin)刚(gang)石等(deng)多种(zhong)薄(bao)膜(mo)，并(bing)可沉积(ji)p型、n型掺(can)杂薄膜。沉积(ji)的薄(bao)膜(mo)具有良好的(de)均(jun)匀性(xing)、致密(mi)性(xing)、粘(zhan)附(fu)性、绝(jue)缘(yuan)性。广(guang)泛(fan)应(ying)用(yong)于(yu)刀具(ju)、高精(jing)模(mo)具、硬(ying)质(zhi)涂层(ceng)、装(zhuang)饰(shi)等(deng)领域(yu)。
CVD系统使(shi)用(yong)特点(dian)说(shuo)明(ming)：
1、多(duo)晶纤维炉(lu)膛(tang)，节能(neng)耐腐(fu)蚀(shi)：重量(liang)轻、升温(wen)速(su)度(du)快(kuai)、节能、省时(shi)、耐高(gao)温、耐腐(fu)蚀(shi)、保(bao)温(wen)性好(hao)，能满(man)足何(he)种快速烧(shao)结的要(yao)求(qiu)。
2、高纯(chun)石英(ying)炉(lu)管炉管(guan)采(cai)用(yong)高纯(chun)度(du)石(shi)英(ying)玻(bo)璃材料工艺加(jia)工：具(ju)有极(ji)低(di)的(de)热膨(peng)胀(zhang)系数(shu)、耐(nai)高(gao)温、化(hua)学稳定(ding)性(xing)好、电绝缘(yuan)性(xing)好。
3、双(shuang)层内(nei)胆(dan)炉壳(ke)双(shuang)层内胆(dan)炉壳(ke)，配(pei)有风(feng)冷系(xi)统(tong)，快(kuai)速(su)升(sheng)降温：整个(ge)炉体采(cai)用(yong)双层内胆式结构，中(zhong)间(jian)有(you)气隙(xi)隔离，即(ji)使炉(lu)膛(tang)温度(du)高达1200℃，炉(lu)体表面(mian)仍(reng)然(ran)可以安全触(chu)摸(mo)无(wu)滚(gun)烫(tang)感(gan)觉(jue)。
4、真空法(fa)兰(lan)法(fa)兰(lan)采用双(shuang)环(huan)密封(feng)技(ji)术(shu)：有(you)效(xiao)的(de)提高(gao)了法兰的(de)气氛(fen)性(xing)，法(fa)兰上(shang)装(zhuang)有(you)多(duo)种(zhong)接(jie)头(tou)，可接(jie)电阻(zu)真空(kong)计、真(zhen)空波(bo)纹(wen)管并(bing)能做成容易(yi)撤(che)卸的(de)铰(jiao)链(lian)式(shi)。
5、合金电(dian)热(re)丝内(nei)嵌式(shi)合金电(dian)热丝，升温快(kuai)，寿命长：加热(re)元(yuan)件(jian)采用内嵌(qian)式合(he)金(jin)电(dian)热(re)丝，发热效(xiao)率高、耐(nai)高温(wen)、抗氧(yang)化、耐(nai)腐蚀、升温快、寿命(ming)长(zhang)、高(gao)温(wen)变形(xing)小、安装(zhuang)维修(xiu)方(fang)便，使(shi)用寿(shou)命长(zhang)。
6、微电脑(nao)PID控(kong)制器(qi)微(wei)电脑PID控制器(qi)，操(cao)作(zuo)简便(bian)：操作(zuo)简(jian)便，控温、可靠(kao)、安(an)全(quan)多段(duan)可(ke)编程(cheng)控(kong)制(zhi)，可(ke)以(yi)简化复杂(za)的试验(yan)过(guo)程(cheng)，真(zhen)正(zheng)实现自(zi)动控制(zhi)和(he)运(yun)行(xing)。
