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新闻(wen)中(zhong)心(xin)> CVD管(guan)式炉(lu)是由哪些(xie)部(bu)件组成(cheng)的？分(fen)别又有(you)什(shen)么(me)功(gong)能？
CVD管式炉(lu)是由(you)哪(na)些(xie)部件组成的？分(fen)别(bie)又有什么功能？
更新(xin)时(shi)间：2022-06-28 点击(ji)次(ci)数(shu)：5301
近(jin)年(nian)来(lai)，随着(zhe)仪(yi)器行(xing)业(ye)的(de)不断(duan)发(fa)展(zhan)，CVD管式(shi)炉(lu)在(zai)市(shi)场(chang)上得到了(le)快(kuai)速地(di)发(fa)展。由于其突(tu)出(chu)的(de)表(biao)现(xian)，受到了(le)广(guang)泛用户(hu)的(de)青(qing)睐。目前本产品可(ke)以(yi)广泛(fan)地(di)应用(yong)于纳米(mi)电子(zi)学、半导体、光电(dian)工(gong)程(cheng)的研发、涂料(liao)等(deng)领(ling)域(yu)，下面我(wo)们(men)就来具(ju)体的了(le)解一下这款仪器(qi)！
CVD管(guan)式(shi)炉与(yu)普通设备(bei)完(wan)整不(bu)同(tong)。此(ci)外，由(you)于(yu)直(zhi)接(jie)着(zhe)火，任何走(zou)漏(lou)都可(ke)能招致爆(bao)炸或火灾，这(zhe)也是非(fei)消防设(she)备(bei)无(wu)法(fa)比较(jiao)的。 加热式管(guan)式(shi)炉(lu)的炉(lu)管(guan)壁(bi)温为(wei)400-650℃，加(jia)热反响式管(guan)式炉(lu)（氢转化炉）的壁(bi)温常(chang)常在850-1000℃的(de)范(fan)围内。高(gao)温炉圈(quan)接受低工作压力(li)，如(ru)蒸馏炉(lu)，普通(tong)1-3mpa，高(gao)压(ya)加(jia)氢(qing)炉，高达18-20mpa。
CVD管式(shi)炉主要(yao)由(you)高温(wen)腔体、石(shi)英管(guan)、石英支架、气(qi)路(lu)系统、分(fen)子(zi)泵(beng)机组(zu)、自(zi)动化控制(zhi)系统(tong)、冷(leng)却(que)系(xi)统(tong)等(deng)组成(cheng)。
1、沉底(di)材(cai)料(liao)可(ke)采用铜(tong)箔、石墨(mo)等(deng)；
2、生(sheng)长腔(qiang)体(ti)采用进(jin)口(kou)高(gao)纯石英(ying)管(guan)，配石(shi)英支(zhi)架、为(wei)石墨(mo)烯(xi)等(deng)材(cai)料(liao)的生长(zhang)提供洁(jie)净环境；
3、炉膛采(cai)用(yong)进(jin)口高(gao)纯(chun)氧化铝多(duo)晶(jing)体纤(xian)维(wei)，不(bu)易掉(diao)粉(fen)、寿命(ming)长且保温性能好。加(jia)热(re)丝采(cai)用掺钼(mu)铁(tie)铬铝(lv)合金加热(re)丝，温(wen)场均(jun)匀(yun)，能(neng)耗低(di)；
4、密(mi)封(feng)法(fa)兰均(jun)采(cai)用不(bu)锈钢(gang)材(cai)质，配水(shui)冷套，可连(lian)续(xu)长时(shi)间工作；
5、气(qi)路系(xi)统(tong)采(cai)用(yong)两(liang)路质量(liang)流(liu)量计(可拓展多(duo)路)，配(pei)预(yu)混(hun)系统；
6、气(qi)体(ti)种(zhong)类(lei)： He/Ar、C2H2、NH3、N2， H2、PH3、GeH4、B2H6；
7、温度、气(qi)体、真(zhen)空、冷却(que)水(shui)等通(tong)过(guo)PLC控制，通过PC实(shi)时控制和(he)显示(shi)相(xiang)关的(de)实验参数(shu)，自动保存(cun)实(shi)验参(can)数(shu)，也可(ke)采用手动控制(zhi)；
8、系统(tong)采(cai)用集成化设计，控制系统、混(hun)气罐、质量流(liu)量计(ji)等(deng)均(jun)内(nei)置在(zai)箱体(ti)内(nei)部，占地(di)面积(ji)小(xiao)。整体(ti)安(an)装(zhuang)四个可(ke)移动(dong)轮子，方(fang)便整体(ti)移(yi)动(dong)。
好(hao)了！关(guan)于(yu)CVD管式炉结(jie)构(gou)特(te)点(dian)的(de)讲(jiang)解(jie)，今(jin)天我们(men)就(jiu)说(shuo)到(dao)这(zhe)里(li)，希(xi)望(wang)您看(kan)完有(you)所(suo)收(shou)获(huo)，后期(qi)我们也(ye)会(hui)陆(lu)续更(geng)新(xin)。
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