1200℃双(shuang)温(wen)区CVD系统
更(geng)新(xin)时(shi)间： 2024-08-27
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产(chan)品报价：
产(chan)品(pin)简(jian)介(jie)： CVD管(guan)式(shi)炉设备(bei)由(you)沉积温度控(kong)件、沉(chen)积(ji)反(fan)应室、真空(kong)控制(zhi)部件和气源控(kong)制(zhi)备件(jian)等(deng)部(bu)分(fen)组(zu)成(cheng)亦(yi)可(ke)根据用(yong)户(hu)需(xu)要设(she)计(ji)生(sheng)产，CVD系统除了主(zhu)要(yao)应用在(zai)碳纳(na)米(mi)材料制备(bei)行业(ye)外，现(xian)在(zai)正在使(shi)用(yong)在(zai)许(xu)多(duo)行业(ye)，包括(kuo)纳(na)米(mi)电子(zi)学(xue)、半导(dao)体(ti)、光(guang)电工(gong)程(cheng)的(de)研(yan)发、涂(tu)料等领域。
详(xiang)细资(zi)料：
此(ci)款(kuan)CVD生(sheng)长(zhang)系统(tong)适用(yong)于CVD工艺，如碳化硅(gui)镀膜(mo)、陶瓷(ci)基片(pian)导(dao)电(dian)率(lv)测试、ZnO纳(na)米(mi)结(jie)构(gou)的可控生长、陶瓷(ci)电(dian)容（MLCC）气(qi)氛(fen)烧结等实验。
产品(pin)组(zu)成(cheng)：
此款CVD系统配(pei)置：
1.1200度(du)开启式真空(kong)管(guan)式炉(lu)（可(ke)选配单(dan)温(wen)区(qu)、双温区(qu)）。
2.多路(lu)质量(liang)流量控(kong)制(zhi)系统
3.真空系统（可选(xuan)配中(zhong)真空(kong)或高真(zhen)空）
产(chan)品特(te)点(dian)：
1 控(kong)制(zhi)电路选(xuan)用(yong)模糊(hu)PID程(cheng)控(kong)技(ji)术(shu)，该技术(shu)控温精(jing)度高(gao)，热(re)惯(guan)性小(xiao)，温(wen)度不过(guo)冲，性能(neng)可(ke)靠(kao)，操作(zuo)简(jian)单。
2 气(qi)路(lu)快(kuai)速(su)连接法兰结(jie)构(gou)采(cai)用本(ben)公(gong)司*的(de)知识(shi)产权(quan)设计,提高操作(zuo)便捷(jie)性。
3 中真(zhen)空(kong)系统(tong)具(ju)有(you)真空度(du)上下(xia)限(xian)自(zi)动控(kong)制功能(neng)，高真(zhen)空系(xi)统采用高(gao)压(ya)强，耐(nai)冲击(ji)分(fen)子泵
防(fang)止(zhi)意(yi)外(wai)漏气(qi)造成分(fen)子(zi)泵(beng)损(sun)坏，延(yan)长系(xi)统(tong)使用寿(shou)命(ming)。
系(xi)统(tong)名称(cheng) | 1200℃单/双温(wen)区(qu)CVD系(xi)统(tong) | |
系(xi)统型号 | CVD-12II-3Z/G | CVD-12II6-3Z/G |
极(ji)限(xian)温度(du) | 1200℃ | |
加(jia)热(re)区(qu)长(zhang)度(du) | 420mm | 600mm |
恒(heng)温区长(zhang)度 | 280mm | 390mm |
温(wen)区(qu) | 双(shuang)温(wen)区(qu) | 双(shuang)温区(qu) |
石英(ying)管管(guan)径(jing) | Φ50/Φ60/Φ80mm | Φ80/Φ100mm |
额(e)定(ding)功率(lv) | 3.2Kw | 4.8Kw |
额(e)定电(dian)压(ya) | 220V | |
温度(du)控制 | 国产(chan)程(cheng)序(xu)控温(wen)系统(tong)50段程序(xu)控温(wen)； | |
控制精度(du) | ±1℃ | |
炉管(guan)极(ji)限(xian)工(gong)作温度(du) | ＜1200℃ | |
气路(lu)法(fa)兰(lan) | 密封(feng)法兰(lan)与管件连(lian)接(jie)的地(di)方(fang)采用(yong)多(duo)环(huan)密(mi)封技(ji)术，在(zai)密(mi)封(feng)法兰与管(guan)外壁(bi)间(jian)形(xing)成了密封(feng)，在(zai)管(guan)件外径误差较(jiao)大(da)的(de)情况下(xia)密(mi)封仍(reng)然(ran)有效，该密(mi)封(feng)法(fa)兰的安装只需(xu)在使用设备(bei)的(de)时(shi)候安装 | |
气(qi)体(ti)控制(zhi)方(fang)式(shi) | 质(zhi)量流量(liang)计(ji) | |
气路数(shu)量 | 3路(lu)（可根(gen)据(ju)具体(ti)需要(yao)选配(pei)气(qi)路数(shu)量） | |
流(liu)量(liang)范围 | 0-500sccm(标(biao)准(zhun)毫(hao)升(sheng)/分，可(ke)选配(pei)）氮气标(biao)定(ding) | |
精度(du) | ±1%F.S | |
响应(ying)时间 | ≤4sec | |
工(gong)作温(wen)度(du) | 5-45℃ | |
工作压(ya)力(li) | 进(jin)气压(ya)力0.05-0.3Mpa(表(biao)压(ya)力） | |
系(xi)统连(lian)接(jie)方(fang)式(shi) | 采(cai)用KF快(kuai)速(su)连(lian)接波(bo)纹(wen)管(guan)、高真(zhen)空手(shou)动挡(dang)板阀(fa)及(ji)数(shu)显(xian)真(zhen)空测量(liang)仪(yi) | |
规(gui)格(ge) | 高(gao)真空 | |
系(xi)统(tong)真空(kong)范围 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空(kong)泵 | 真空(kong)分子泵(beng)理论(lun)极(ji)限真(zhen)空(kong)度5x10-6Pa抽(chou)气(qi)速(su)度(du)1200L/S额(e)定(ding)电压220V 功(gong)率(lv)2KW | 真空(kong)分(fen)子(zi)泵(beng)理论极(ji)限真空度5x10-6Pa抽(chou)气(qi)速(su)度1600L/S额定(ding)电压220V 功率2KW |
炉体外形尺寸(cun) | 340×580×555mm | 480×770×605mm |
系统(tong)外(wai)形(xing)尺寸(cun) | 530x1440x750mm(不(bu)含高真(zhen)空(kong)) | |
系统(tong)总(zong)重(zhong)量(liang) | 330kg | |
| 如果(guo)你(ni)对该产品感兴趣，想(xiang)了解(jie)更(geng)详(xiang)细的产(chan)品(pin)信息(xi)，填(tian)写(xie)下表(biao)直(zhi)接与厂家(jia)联系(xi)： |
