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技术(shu)文章> CVD管(guan)式(shi)炉具(ju)有(you)九大(da)特(te)点，您都知道几点？
CVD管(guan)式炉具有九(jiu)大特(te)点(dian)，您都知(zhi)道(dao)几(ji)点(dian)？
更新(xin)时间：2021-04-06 点(dian)击次(ci)数(shu)：6564
CVD管(guan)式炉(lu)由管(guan)式(shi)炉+真空(kong)系统(tong)+供气系统组成(cheng)，温度(du)可以(yi)达(da)到(dao)1200度(du)，可(ke)以是单(dan)温(wen)区(qu)、双温区、三温区(qu)等，极(ji)限真空(kong)可(ke)以(yi)达(da)到10-3Pa，供气(qi)系(xi)统(tong)是(shi)流量调(diao)节(jie)可(ke)以(yi)是(shi)质(zhi)子流(liu)量计(ji)或浮(fu)子流量计，混气(qi)路(lu)数(shu)可以(yi)是2路、3路(lu)、4路(lu)、5路(lu)相(xiang)混合(he)。
本产品(pin)采用掺(can)钼(mu)合金加热丝为(wei)加热元(yuan)件(jian)，采(cai)用(yong)双(shuang)层(ceng)壳(ke)体(ti)结构(gou)和宇(yu)电(dian)控(kong)温(wen)仪(yi)表(biao)，能进(jin)行30段(duan)程序控(kong)温(wen)，移相触发(fa)、可(ke)控硅(gui)控制(zhi)，炉(lu)膛采用(yong)日本(ben)进(jin)口氧(yang)化铝(lv)多晶纤维(wei)材料，具(ju)有(you)温场(chang)均(jun)衡(heng)、表(biao)面(mian)温(wen)度(du)低、节(jie)能(neng)等优点。
应用范围(wei)：
CVD管(guan)式炉(lu)是(shi)一种(zhong)特(te)殊(shu)的(de)CVD系统(tong)，是高校(xiao)、科(ke)研院所(suo)、工矿(kuang)企业(ye)做高(gao)温(wen)气(qi)氛烧(shao)结、气(qi)氛(fen)还(hai)原(yuan)、CVD实(shi)验(yan)、真空(kong)退火用(yong)的理(li)想(xiang)产(chan)品。
产(chan)品(pin)特(te)点：
1、采用K型热电(dian)偶(ou)测(ce)温，测(ce)温(wen)准(zhun)备(bei)；
2、气(qi)路(lu)连接(jie)方式采用(yong)了(le)快(kuai)速(su)连接法(fa)兰结(jie)构；
3、采用石(shi)英(ying)管(guan)、两端(duan)用(yong)不锈(xiu)钢法(fa)兰(lan)密封；
4、取放物料过程简化(hua)，只需一(yi)支(zhi)卡(ka)箍(gu)便可完(wan)成气(qi)路(lu)连接，方便(bian)操(cao)作(zuo)；
5、取(qu)消(xiao)了(le)复杂(za)的(de)法(fa)兰安装过(guo)程，减(jian)少了(le)炉(lu)管因(yin)安(an)装造(zao)成(cheng)损坏(huai)的可(ke)能；
6、采(cai)用(yong)双层(ceng)壳体(ti)结构，内层为不(bu)锈钢结(jie)构，外(wai)壳为(wei)碳(tan)钢(gang)；
7、双(shuang)层(ceng)炉壳(ke)间(jian)配有(you)风冷系(xi)统，能使炉(lu)体(ti)表面(mian)快(kuai)速降(jiang)温(wen)，炉壳(ke)表(biao)面温(wen)度小于(yu)60度；
8、加热炉(lu)膛由上下(xia)两(liang)部分(fen)组(zu)成，其(qi)中上部(bu)炉膛(tang)可整(zheng)体向(xiang)后翻转(zhuan)110°，方便取放、观察实验物(wu)料，炉(lu)膛材(cai)料采(cai)用(yong)进口高(gao)纯氧化(hua)铝多晶体(ti)纤(xian)维(wei)材料制成(cheng)，节能(neng)50%，温场(chang)均(jun)匀；
9、加(jia)热元件(jian)采(cai)用高电阻合金丝(si)OCr27Al7Mo2，电阻(zu)丝(si)位(wei)于炉(lu)膛四周，温(wen)度均匀(yun)性(xing)高(gao)，温场(chang)效(xiao)果(guo)较(jiao)好。
