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技(ji)术文章> 高(gao)温(wen)管(guan)式炉(lu)的(de)结构(gou)特(te)点(dian)及注意(yi)事项(xiang)
高(gao)温(wen)管式(shi)炉(lu)的(de)结(jie)构(gou)特点(dian)及注(zhu)意事(shi)项
更新(xin)时(shi)间：2021-07-30 点击次(ci)数(shu)：5890
立(li)式(shi)高温(wen)管(guan)式(shi)炉的结构特点(dian)：
1、炉(lu)膛材(cai)料(liao)采用(yong)的多晶(jing)莫(mo)来纤维真空吸附(fu)制(zhi)成，节能50%，温(wen)场(chang)均(jun)匀。电(dian)热(re)元件(jian)采用(yong)表面温(wen)度(du)1700度(du)的(de)硅(gui)钼棒和1500度的硅(gui)碳棒(bang)。
2、密封(feng)法兰采(cai)用(yong)双环密封技术(shu)，有效的(de)提(ti)高了炉(lu)管(guan)两端(duan)的(de)气密(mi)性。气(qi)路(lu)具(ju)有(you)进(jin)出气(qi)微(wei)量可(ke)调功能(neng)。
3、两(liang)端气路支架，支(zhi)撑(cheng)着(zhe)气路(lu)装(zhuang)置(zhi)。有(you)效(xiao)消除(chu)了气(qi)路总成(cheng)自身(shen)的(de)应力，杜(du)绝了因(yin)自身应力(li)而(er)造(zao)成(cheng)的(de)炉管损坏(huai)。
4、的空(kong)气隔(ge)热技术，结合热(re)感应技(ji)术，当炉体表面(mian)温升(sheng)到达50℃时，排温风扇(shan)将自动(dong)启(qi)动(dong)，使炉体(ti)表(biao)面快(kuai)速(su)降温。
高温管式(shi)炉(lu)使(shi)用(yong)注(zhu)意事(shi)项：
1、程(cheng)序设定温(wen)度不得(de)高(gao)于(yu)电(dian)炉(lu)参(can)数温(wen)度。
2、电炉(lu)工(gong)作(zuo)时，不(bu)得(de)打开炉(lu)门(men)，取产(chan)品时，应等到(dao)炉(lu)温100℃以下(xia)。
3、升(sheng)温加(jia)热(re)时，加(jia)热功(gong)率(lv)不(bu)得超过6KW，否(fou)则(ze)将(jiang)损伤(shang)加热(re)元(yuan)件。
4、处(chu)理(li)HF时(shi)，请(qing)戴手(shou)套，如(ru)不小(xiao)心(xin)碰(peng)到(dao)HF时，请(qing)立(li)刻冲水(shui)，用葡萄(tao)酸(suan)钙加(jia)2%之(zhi)水(shui)，揉(rou)擦(ca)伤处。
5、石(shi)英(ying)玻(bo)璃制品(pin)请小(xiao)心(xin)使(shi)用，以免破(po)裂(lie)，引起(qi)严(yan)重割伤(shang)。
6、避免(mian)吸入从(cong)炉(lu)子(zi)或处理(li)槽所(suo)冒出(chu)之各(ge)种(zhong)气体(ti)。
7、破(po)晶片、滤(lv)纸、棉花(hua)棒(bang)等(deng)，请勿掉(diao)入清洗(xi)槽(cao)的(de)底(di)部(bu)排水孔，以免因(yin)排(pai)水(shui)不良造(zao)成(cheng)地(di)板渍(zi)水(shui)。
8、长短推杆之前端(duan)，在还没使(shi)用(yong)到(dao)时(shi)，请(qing)朝(chao)上(shang)以免(mian)污染(ran)。
1、炉(lu)膛材(cai)料(liao)采用(yong)的多晶(jing)莫(mo)来纤维真空吸附(fu)制(zhi)成，节能50%，温(wen)场(chang)均(jun)匀。电(dian)热(re)元件(jian)采用(yong)表面温(wen)度(du)1700度(du)的(de)硅(gui)钼棒和1500度的硅(gui)碳棒(bang)。
2、密封(feng)法兰采(cai)用(yong)双环密封技术(shu)，有效的(de)提(ti)高了炉(lu)管(guan)两端(duan)的(de)气密(mi)性。气(qi)路(lu)具(ju)有(you)进(jin)出气(qi)微(wei)量可(ke)调功能(neng)。
3、两(liang)端气路支架，支(zhi)撑(cheng)着(zhe)气路(lu)装(zhuang)置(zhi)。有(you)效(xiao)消除(chu)了气(qi)路总成(cheng)自身(shen)的(de)应力，杜(du)绝了因(yin)自身应力(li)而(er)造(zao)成(cheng)的(de)炉管损坏(huai)。
4、的空(kong)气隔(ge)热技术，结合热(re)感应技(ji)术，当炉体表面(mian)温升(sheng)到达50℃时，排温风扇(shan)将自动(dong)启(qi)动(dong)，使炉体(ti)表(biao)面快(kuai)速(su)降温。
高温管式(shi)炉(lu)使(shi)用(yong)注(zhu)意事(shi)项：
1、程(cheng)序设定温(wen)度不得(de)高(gao)于(yu)电(dian)炉(lu)参(can)数温(wen)度。
2、电炉(lu)工(gong)作(zuo)时，不(bu)得(de)打开炉(lu)门(men)，取产(chan)品时，应等到(dao)炉(lu)温100℃以下(xia)。
3、升(sheng)温加(jia)热(re)时，加(jia)热功(gong)率(lv)不(bu)得超过6KW，否(fou)则(ze)将(jiang)损伤(shang)加热(re)元(yuan)件。
4、处(chu)理(li)HF时(shi)，请(qing)戴手(shou)套，如(ru)不小(xiao)心(xin)碰(peng)到(dao)HF时，请(qing)立(li)刻冲水(shui)，用葡萄(tao)酸(suan)钙加(jia)2%之(zhi)水(shui)，揉(rou)擦(ca)伤处。
5、石(shi)英(ying)玻(bo)璃制品(pin)请小(xiao)心(xin)使(shi)用，以免破(po)裂(lie)，引起(qi)严(yan)重割伤(shang)。
6、避免(mian)吸入从(cong)炉(lu)子(zi)或处理(li)槽所(suo)冒出(chu)之各(ge)种(zhong)气体(ti)。
7、破(po)晶片、滤(lv)纸、棉花(hua)棒(bang)等(deng)，请勿掉(diao)入清洗(xi)槽(cao)的(de)底(di)部(bu)排水孔，以免因(yin)排(pai)水(shui)不良造(zao)成(cheng)地(di)板渍(zi)水(shui)。
8、长短推杆之前端(duan)，在还没使(shi)用(yong)到(dao)时(shi)，请(qing)朝(chao)上(shang)以免(mian)污染(ran)。
上(shang)一(yi)篇：CVD管式炉的产品特点(dian)及注意事项
