产(chan)品目(mu)录 / Product catalog
CVD管(guan)式炉(lu)的产(chan)品(pin)特点及注意事(shi)项
更(geng)新(xin)时间(jian)：2021-08-04 点击次(ci)数：7354
CVD管式炉(lu)产品特点：
1、控制电路选(xuan)用模(mo)糊PID程控技术(shu)，该技(ji)术控(kong)温(wen)精(jing)度高，热(re)惯性小(xiao)，温(wen)度不(bu)过冲(chong)，性能可靠(kao)，操作简(jian)单(dan)。
2、气(qi)路快(kuai)速(su)连(lian)接法兰结(jie)构采(cai)用本(ben)公司(si)知(zhi)识(shi)产(chan)权设(she)计,提高(gao)操作便(bian)捷(jie)性。
3、中(zhong)真空(kong)系(xi)统具有真空(kong)度(du)上(shang)下(xia)限自动控(kong)制功(gong)能，高(gao)真空(kong)系统采(cai)用(yong)高压强(qiang)，耐(nai)冲击(ji)分(fen)子(zi)泵防止(zhi)意外漏气造(zao)成(cheng)分(fen)子(zi)泵损(sun)坏(huai)，延长系(xi)统(tong)使用寿命(ming)。
CVD管式炉(lu)使(shi)用注意(yi)事(shi)项(xiang)：
1、冷炉使用时(shi)，由(you)于管式炉膛是(shi)冷(leng)的(de)，须大(da)量吸(xi)热，所(suo)以低温段(duan)升(sheng)温(wen)速(su)率不易过(guo)快(kuai)，各(ge)温(wen)度(du)段的(de)升温(wen)速率差(cha)别(bie)不易(yi)太(tai)大，设置(zhi)升(sheng)温(wen)速率时(shi)应(ying)充(chong)分(fen)考(kao)虑(lv)所烧结材(cai)料(liao)的物(wu)理(li)化(hua)学性质(zhi)，以免(mian)出现喷(pen)料(liao)现象(xiang)，污染炉管。
2、定(ding)期(qi)检查(cha)温度控(kong)制(zhi)系统的(de)电(dian)器(qi)连(lian)接部(bu)分的(de)接(jie)触(chu)是(shi)否(fou)良(liang)好(hao)，应特(te)别注意加(jia)热(re)元(yuan)件(jian)的各(ge)连(lian)接点的(de)连接是否(fou)紧固(gu)。
3、使用或长时间不用后(hou)，要(yao)在(zai)120℃左(zuo)右(you)烘(hong)烤(kao)1小(xiao)时(shi)，在(zai)300℃左(zuo)右烘(hong)烤2小(xiao)时(shi)后使用(yong)，以(yi)免(mian)造(zao)成(cheng)炉膛开裂(lie)。炉温尽量(liang)不要超(chao)过额(e)定(ding)温度(du)，以免(mian)损(sun)坏加(jia)热(re)元(yuan)件(jian) 及炉衬(chen)。禁(jin)止向(xiang)炉(lu)膛(tang)内直(zhi)接灌注(zhu)各(ge)种(zhong)液体及(ji)溶解(jie)金(jin)属(shu)，保持(chi)炉(lu)内的清洁。
4、炉膛(tang)若采(cai)用石英(ying)管，当温度高(gao)于1000℃时，石英管的高(gao)温部分会出现(xian)不透(tou)明(ming)现(xian)象(xiang)，这叫(jiao)失透是连熔(rong)石英(ying)管的一个(ge)固(gu)有缺(que)陷，属正常现(xian)象。
1、控制电路选(xuan)用模(mo)糊PID程控技术(shu)，该技(ji)术控(kong)温(wen)精(jing)度高，热(re)惯性小(xiao)，温(wen)度不(bu)过冲(chong)，性能可靠(kao)，操作简(jian)单(dan)。
2、气(qi)路快(kuai)速(su)连(lian)接法兰结(jie)构采(cai)用本(ben)公司(si)知(zhi)识(shi)产(chan)权设(she)计,提高(gao)操作便(bian)捷(jie)性。
3、中(zhong)真空(kong)系(xi)统具有真空(kong)度(du)上(shang)下(xia)限自动控(kong)制功(gong)能，高(gao)真空(kong)系统采(cai)用(yong)高压强(qiang)，耐(nai)冲击(ji)分(fen)子(zi)泵防止(zhi)意外漏气造(zao)成(cheng)分(fen)子(zi)泵损(sun)坏(huai)，延长系(xi)统(tong)使用寿命(ming)。
CVD管式炉(lu)使(shi)用注意(yi)事(shi)项(xiang)：
1、冷炉使用时(shi)，由(you)于管式炉膛是(shi)冷(leng)的(de)，须大(da)量吸(xi)热，所(suo)以低温段(duan)升(sheng)温(wen)速(su)率不易过(guo)快(kuai)，各(ge)温(wen)度(du)段的(de)升温(wen)速率差(cha)别(bie)不易(yi)太(tai)大，设置(zhi)升(sheng)温(wen)速率时(shi)应(ying)充(chong)分(fen)考(kao)虑(lv)所烧结材(cai)料(liao)的物(wu)理(li)化(hua)学性质(zhi)，以免(mian)出现喷(pen)料(liao)现象(xiang)，污染炉管。
2、定(ding)期(qi)检查(cha)温度控(kong)制(zhi)系统的(de)电(dian)器(qi)连(lian)接部(bu)分的(de)接(jie)触(chu)是(shi)否(fou)良(liang)好(hao)，应特(te)别注意加(jia)热(re)元(yuan)件(jian)的各(ge)连(lian)接点的(de)连接是否(fou)紧固(gu)。
3、使用或长时间不用后(hou)，要(yao)在(zai)120℃左(zuo)右(you)烘(hong)烤(kao)1小(xiao)时(shi)，在(zai)300℃左(zuo)右烘(hong)烤2小(xiao)时(shi)后使用(yong)，以(yi)免(mian)造(zao)成(cheng)炉膛开裂(lie)。炉温尽量(liang)不要超(chao)过额(e)定(ding)温度(du)，以免(mian)损(sun)坏加(jia)热(re)元(yuan)件(jian) 及炉衬(chen)。禁(jin)止向(xiang)炉(lu)膛(tang)内直(zhi)接灌注(zhu)各(ge)种(zhong)液体及(ji)溶解(jie)金(jin)属(shu)，保持(chi)炉(lu)内的清洁。
4、炉膛(tang)若采(cai)用石英(ying)管，当温度高(gao)于1000℃时，石英管的高(gao)温部分会出现(xian)不透(tou)明(ming)现(xian)象(xiang)，这叫(jiao)失透是连熔(rong)石英(ying)管的一个(ge)固(gu)有缺(que)陷，属正常现(xian)象。
