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技(ji)术文章> CVD管(guan)式(shi)炉(lu)在使(shi)用(yong)前(qian)要(yao)做(zuo)好(hao)哪(na)些(xie)准(zhun)备(bei)工作？
CVD管式(shi)炉在使用前要做(zuo)好哪些准(zhun)备工作？
更新(xin)时(shi)间：2022-06-13 点(dian)击(ji)次(ci)数(shu)：3755
CVD管(guan)式(shi)炉(lu)是一(yi)款(kuan)在(zai)沉底(di)材料上生长(zhang)高质量(liang)石(shi)墨(mo)烯(xi)、碳纳(na)米管(guan)、碳化(hua)硅的(de)设(she)备，广(guang)泛(fan)应用于(yu)在半(ban)导(dao)体、纳(na)米(mi)材料、碳纤(xian)维、碳化(hua)硅、镀(du)膜等新材(cai)料(liao)新(xin)工(gong)艺(yi)领域。
CVD管(guan)式炉的使用(yong)方(fang)法(fa)：
准(zhun)备工作(zuo)：
1、设计(ji)升降温(wen)曲(qu)线(xian)，升温速(su)率不(bu)得高(gao)于(yu)10℃/分(fen)钟，降(jiang)温(wen)速(su)率应低(di)于15℃/分(fen)钟(zhong)。
2、清扫(sao)环(huan)境(jing)。
3、每(mei)周(zhou)开(kai)始使用(yong)时(shi)，检(jian)查机(ji)械泵(beng)油(you)线处于(yu)标线以上(shang)，拆除两(liang)端盖(gai)，用吸(xi)尘(chen)器(qi)清洁(jie)刚玉(yu)炉管(guan)。
4、将(jiang)样品(pin)舟(zhou)推入刚(gang)与(yu)管炉膛中(zhong)部（恒(heng)温(wen)长度(du)10cm）。
5、塞上(shang)两(liang)块(kuai)隔热(re)炉塞，使第(di)二个炉(lu)塞(sai)的(de)末(mo)端(duan)与(yu)炉(lu)体侧(ce)面平(ping)齐(qi)。
6、装(zhuang)上气(qi)炉法(fa)兰(lan)，确(que)认(ren)密(mi)封(feng)垫(dian)落入槽(cao)中(zhong)。
开炉(lu)：
1、开启(qi)总(zong)电源，风(feng)扇(shan)启动。
2、开面(mian)板(ban)电源(yuan)（顺(shun)时针(zhen)转动(dong)Lock旋钮），启(qi)动面(mian)板(ban)。
3、使(shi)仪表(biao)处(chu)于(yu)初(chu)始状态(tai)（即PV显示(shi)数(shu)值(zhi)，SV闪烁(shuo)显(xian)示Stop），此时若(ruo)不处(chu)于该状(zhuang)态(tai)，则按(an)向(xiang)上(shang)键(jian)对(dui)仪表(biao)清零(ling)，使仪(yi)表(biao)只处在(zai)测显(xian)状(zhuang)态(tai)。
4、按(an)向(xiang)左(zuo)键(jian)1秒(miao)，进(jin)入温(wen)度设(she)定(ding)状(zhuang)态(tai)，通过(guo)按(an)向(xiang)左键移(yi)动(dong)光(guang)标(biao)，按向(xiang)上键和(he)向下键(jian)来(lai)调(diao)节温(wen)度(du)的(de)设定数值(zhi)。
5、按(an)回车键(jian)1秒(miao)，进(jin)入(ru)时间设定(ding)状态(tai)，通过(guo)按向左(zuo)键(jian)移(yi)动光(guang)标，按(an)向上(shang)键(jian)和向(xiang)下(xia)键来调节时间(jian)的(de)设定(ding)数值。
6、程(cheng)序后(hou)一(yi)步(bu)为时(shi)间(jian)状(zhuang)态，数值为-121，以结(jie)束全(quan)部(bu)程序(xu)，按回(hui)车(che)键(jian)确(que)定(ding)。
7、按(an)住(zhu)向(xiang)左键不(bu)放，然(ran)后按(an)下回(hui)车键(jian)，则退(tui)出(chu)程(cheng)序(xu)设置(zhi)。
8、按向(xiang)左键进(jin)入程序设(she)定(ding)状(zhuang)态(tai)，再连续按回(hui)车(che)键(jian)检(jian)查设(she)定的(de)程(cheng)序(xu)是(shi)否(fou)符(fu)合(he)预(yu)定的(de)升(sheng)降(jiang)温曲(qu)线(xian)。
9、按住向左键(jian)不放，然(ran)后(hou)按(an)回(hui)车键复(fu)位。
10、按回车(che)键2秒(miao)，进入基本(ben)参数设置，连(lian)续(xu)按(an)回车(che)键(jian)检查(cha)基本(ben)参(can)数（n5=389.7，p=15，t=10，ctrl=3，opl=28）。
11、按住向(xiang)左(zuo)键(jian)不放，然后按(an)回车(che)键(jian)，复位、
12、按回(hui)车键(jian)1秒，检(jian)查(cha)是(shi)否为(wei)STEP1，即(ji)程序(xu)从步(bu)开始执(zhi)行。
13、按住(zhu)向左键(jian)不放(fang)，然后按回车键，复位(wei)。
14、按向(xiang)下(xia)键(jian)2秒(miao)，SV显(xian)示Run运(yun)行(xing)程(cheng)序(xu)。
15、按绿(lv)色(se)TurnOn键，启(qi)动加(jia)热电(dian)源，观(guan)察(cha)电(dian)流(liu)表、电(dian)压(ya)表：（若工(gong)作(zuo)电流超过150A持(chi)续(xu)几秒钟(zhong)，按下(xia)Turnoff键断开加热电源(yuan)，检查(cha)功(gong)能参数的(de)设定）。
16、在使(shi)用惰性(xing)气(qi)体(ti)做工作气体时，升(sheng)温(wen)过(guo)程(cheng)中严(yan)密(mi)注(zhu)意(yi)压力(li)表，如压力(li)高于(yu)0.08MPa，立(li)即(ji)打开出(chu)口阀放(fang)气。
17、在(zai)使(shi)用(yong)氢(qing)气(qi)做(zuo)工(gong)作气(qi)体时(shi)，降温(wen)过程中(zhong)要注意监(jian)视锥形(xing)瓶(ping)中出气(qi)的(de)情况，如果(guo)有倒(dao)吸情况，应立(li)即(ji)逆(ni)顺时针(zhen)调节(jie)流(liu)量(liang)计旋钮(niu)，增(zeng)加(jia)进气量。
18、操(cao)作者(zhe)在升温、保温、降温过(guo)程(cheng)中不(bu)得(de)离开(kai)，如遇跳(tiao)闸(zha)，要立即(ji)合(he)闸供(gong)电。
