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CVD管式炉应用及其(qi)特(te)点
更新时(shi)间(jian)：2024-03-29 点击次(ci)数：10084
CVD管(guan)式(shi)炉设(she)备(bei)由(you)沉(chen)积温(wen)度(du)控件、沉(chen)积(ji)反(fan)应室、真(zhen)空控制(zhi)部(bu)件(jian)和气源控(kong)制(zhi)备(bei)件(jian)等部分组(zu)成亦(yi)可根据用(yong)户(hu)需(xu)要设(she)计生(sheng)产，CVD系统除(chu)了主要应用在(zai)碳纳米材料制备(bei)行(xing)业(ye)外，现(xian)在正在(zai)使用(yong)在(zai)许多行(xing)业，包(bao)括纳米电(dian)子学(xue)、半导体、光电(dian)工程(cheng)的研发、涂料等(deng)领(ling)域(yu)。
应(ying)用领(ling)域：
CVD系列真空气(qi)氛(fen)管(guan)式(shi)炉(lu)广泛(fan)适(shi)用(yong)于(yu)高(gao)、中、低(di)温(wen)CVD工(gong)艺。
例(li)如(ru)：碳纳(na)米管的研(yan)制、晶体(ti)硅(gui)基板(ban)镀(du)膜、纳米氧(yang)化(hua)锌结(jie)构(gou)的可(ke)控(kong)生长(zhang)等(deng)等；也可(ke)适用(yong)于(yu)金属材料(liao)的扩展(zhan)焊接以及真空或保护气氛下热(re)处理。
CVD管式(shi)炉(lu)主(zhu)要(yao)特(te)点(dian)：
1.采(cai)用(yong)高(gao)纯石英管(guan)或(huo)刚玉管作(zuo)为内(nei)炉(lu)膛。
2.可拆卸(xie)式的三(san)面(mian)密封(feng)方(fang)式，具(ju)有良(liang)好(hao)的洁(jie)净度和真空度；耐(nai)火，保(bao)温材(cai)料全部(bu)采(cai)用的(de)轻(qing)质纤维制(zhi)品(pin)，整(zheng)机质量轻、能(neng)耗低(di)；加热(re)元(yuan)件(jian)采(cai)用(yong)U型(xing)硅铝(lv)(碳(tan))棒或*电(dian)阻(zu)丝(si)；
3.CVD系(xi)列真(zhen)空气氛(fen)管(guan)式(shi)炉(lu)温控(kong)系统(tong)采用(yong)进口多段(duan)智能程(cheng)序温度控(kong)制仪控制(zhi)，温度(du)控制(zhi)具(ju)有(you)良(liang)好(hao)的稳定性、重复(fu)性。
