当您在(zai)使用RTP快(kuai)速退(tui)火炉时,这(zhe)些事项必须时刻注(zhu)意!
更(geng)新时间(jian):2022-07-20 点(dian)击次(ci)数:4388
RTP快速(su)退(tui)火炉(lu)主要(yao)适(shi)用于不锈(xiu)钢(gang)拉(la)深件(jian)如水暖器材、水胀(zhang)件、销(xiao)、医(yi)疗(liao)器械(xie)、不锈钢(gang)钉、不(bu)锈钢(gang)镙(luo)丝(si)、压(ya)铆件(jian)、不锈钢(gang)轴(zhou)承、表(biao)壳(ke)、表带、刀(dao)具(ju)、微(wei)型轴、自攻(gong)自钻、餐(can)具(ju)等(deng)不锈(xiu)钢制品(pin)在(zai)保(bao)护(hu)气(qi)氛控(kong)制(zhi)下(xia)进行连续(xu)光(guang)亮(liang)退火、固(gu)溶、退(tui)磁(ci)及(ji)不锈钢淬火处理(li)的(de)多用(yong)炉(lu)。处理(li)后(hou)产(chan)品(pin)表面(mian)光洁,不(bu)氧化,不(bu)脱碳(tan)。具(ju)有(you)生产(chan)效率高(gao),能(neng)耗低,污(wu)染少(shao),操作使用方便(bian),劳动强度低等(deng)优点.也(ye)可供(gong)金属材(cai)料钎(qian)焊,烧(shao)结(jie)之用。系引(yin)进(jin)消(xiao)化国(guo)外(wai)90年(nian)初(chu)产(chan)品。

RTP快速(su)退(tui)火炉技(ji)术(shu)特点:
RTP快(kuai)速(su)退(tui)火(huo)炉(lu)广(guang)泛应用在(zai)IC晶圆(yuan)、LED晶(jing)圆、MEMS、化合物半(ban)导(dao)体(ti)和(he)功(gong)率(lv)器(qi)件等多(duo)种(zhong)芯片产品(pin)的(de)生产(chan)。和欧(ou)姆接触快(kuai)速合金、离(li)子(zi)注(zhu)入退火(huo)、氧(yang)化物(wu)生长、消除应(ying)力和致(zhi)密化(hua)等(deng)工(gong)艺(yi)当(dang)中,通(tong)过(guo)快(kuai)速(su)热(re)处理(li)以(yi)改(gai)善(shan)晶体结构和(he)光(guang)电(dian)性能,具有(you)技(ji)术指(zhi)标(biao)高、工(gong)艺复(fu)杂、性(xing)强的特点(dian)。
快(kuai)速退火炉的使用注意事项:
1.炉子使(shi)用(yong)或(huo)长(zhang)时(shi)间(jian)不(bu)用(yong)后(hou),要在(zai)120℃左右(you)烘烤(kao)1小(xiao)时(shi),在(zai)300℃左(zuo)右烘烤(kao)2小(xiao)时(shi)后(hou)使(shi)用(yong),以(yi)免造(zao)成炉膛(tang)开裂。炉温尽量不(bu)要超过额定(ding)温(wen)度,以免(mian)损(sun)坏(huai)加热(re)元(yuan)件及炉衬(chen)。禁止(zhi)向炉(lu)膛(tang)内(nei)直接(jie)灌注各种液体(ti)及溶解金属,保(bao)持(chi)炉(lu)内的清(qing)洁。
2.炉膛(tang)若采用石(shi)英管,当温(wen)度高于(yu)1000℃时,石英(ying)管(guan)的(de)高(gao)温部(bu)分(fen)会(hui)出现(xian)不透(tou)明现(xian)象,这(zhe)叫(jiao)失透(又叫析(xi)晶(jing)性)是(shi)连熔石(shi)英管的一个固(gu)有(you)缺(que)陷,属(shu)正常现象(xiang)。
3.冷(leng)炉(lu)使用时,由于炉(lu)膛(tang)是冷的,须大(da)量(liang)吸(xi)热,所(suo)以(yi)低(di)温(wen)段升(sheng)温速(su)率不易(yi)过(guo)快(kuai),各温度段(duan)的(de)升温(wen)速率(lv)差别(bie)不(bu)易(yi)太大,设置升(sheng)温(wen)速率时应(ying)充分(fen)考虑(lv)所(suo)烧(shao)结材(cai)料(liao)的(de)物(wu)理化学(xue)性(xing)质,以(yi)免出(chu)现喷料(liao)现(xian)象,污(wu)染(ran)炉(lu)管。
4.定(ding)期检(jian)查温(wen)度控(kong)制系统(tong)的电器连(lian)接部分的(de)接触是否(fou)良好(hao),应(ying)特别(bie)注意(yi)加(jia)热(re)元件的(de)各(ge)连(lian)接(jie)点(dian)的连(lian)接(jie)是(shi)否(fou)紧(jin)固。
5.炉(lu)子使用(yong)过一(yi)段时间后,若(ruo)真(zhen)空度降低(di),可分(fen)别更(geng)换不(bu)锈钢法(fa)兰盘之(zhi)间的耐温(wen)硅(gui)胶圈(quan)或(huo)重(zhong)新(xin)安装不锈(xiu)钢(gang)法兰(lan)盘(pan)或(huo)更(geng)换(huan)修(xiu)理(li)真空(kong)系(xi)统,以(yi)提高系统(tong)的(de)整(zheng)体(ti)真(zhen)空度(du)。
6.炉子在工(gong)作(zuo)过程(cheng)中(zhong),一般(ban)在300℃左右(you)若控(kong)制(zhi)偏差(cha)还(hai)不能消除,出现(xian)温度(du)显示值与(yu)程(cheng)序(xu)给(gei)定值(zhi)不符(fu)或摆动(dong)过大,检查参(can)数“M5、P、t”设(she)置(zhi)是否(fou)。