详(xiang)述(shu)RTP快(kuai)速退(tui)火炉应(ying)用领(ling)域(yu)和(he)结构特(te)点(dian)

 　　RTP快(kuai)速退火(huo)炉可(ke)用(yong)于砷(shen)化(hua)镓(jia)、硅(gui)以及(ji)其他(ta)半导(dao)体(ti)材料(liao)，离子注(zhu)入后的(de)退火、硅化(hua)物(wu)的(de)形成(cheng)、欧姆(mu)接(jie)触制(zhi)备(bei)以及快(kuai)速氧化、快速(su)氮化等(deng)方面(mian)。RTP快(kuai)速退(tui)火炉，快(kuai)速热处理设备(bei)(RTP)具有(you)快(kuai)速(su)升降(jiang)温(wen)、慢速升(sheng)降(jiang)温、和(he)长(zhang)工作(zuo)时间(jian)稳定(ding)等(deng)特(te)点(dian)。也(ye)可用于各种(zhong)半(ban)导(dao)体材料(liao)的(de)CVD工艺的(de)热(re)处理。

　　RTP快(kuai)速(su)退(tui)火(huo)炉用于半(ban)导体器件(jian)研发(fa)及生(sheng)产(chan)等领(ling)域(yu)，可满足(zu)离子(zi)注(zhu)入后的快速退(tui)火(huo)、欧(ou)姆(mu)接触快速(su)合(he)金、硅(gui)化(hua)物(wu)合(he)金退火(huo)，氧化(hua)物(wu)生长(zhang)以及铜铟(yin)镓硒(xi)光(guang)伏应(ying)用(yong)中的(de)硒(xi)沉(chen)积(ji)等快(kuai)速热处理(li)工艺(yi)场合(he)。

　　RTP快(kuai)速(su)退(tui)火炉应用领域：

　　1.离子(zi)注(zhu)入(ru)/接触(chu)退(tui)火;

　　2.快(kuai)速热处(chu)理(RTP)，快速退(tui)火(RTA)，快(kuai)速(su)热(re)氧化(hua)(RTO)，快(kuai)速(su)热氮化(RTN);

　　3.RTP快(kuai)速(su)退火(huo)炉可在真空、惰性(xing)气氛(fen)、氧(yang)气、氢气(qi)、混(hun)合(he)气等(deng)不(bu)同(tong)环境(jing)下(xia)使用(yong);

　　4.SiAu, SiAl, SiMo合(he)金(jin)化(hua);

　　5.低(di)介(jie)电(dian)材料(liao);晶(jing)体化(hua)，致(zhi)密(mi)化;

　　6.太阳能电池片键(jian)合;

　　RTP快(kuai)速(su)退火炉结构特点(dian)：

　　炉(lu)膛采(cai)用(yong)进(jin)口(kou)多晶(jing)纤(xian)维真空吸(xi)附(fu)制(zhi)成(cheng)，采(cai)用进口红外线加(jia)热(re)管加(jia)热(re)，使(shi)用寿(shou)命(ming)可(ke)达5000小(xiao)时(shi)，升(sheng)温(wen)速度(du)快，zui高(gao)温度(du)可达1050℃。

　　炉管(guan)可(ke)自(zi)由(you)移动(dong)，且(qie)密封(feng)法兰(lan)之间(jian)用搭(da)扣(kou)压(ya)紧连接(jie)，放(fang)、取物料方便快(kuai)捷(jie)，避免了(le)螺栓(shuan)密(mi)封人为(wei)操(cao)作(zuo)导致(zhi)漏气的可(ke)能(neng);减(jian)少了(le)因(yin)安(an)装法(fa)兰(lan)而(er)造(zao)成(cheng)加(jia)热(re)管(guan)损坏(huai)的(de)可(ke)能(neng);当炉(lu)管移出炉膛时冷(leng)确风扇启动(dong)，可实现试样(yang)的(de)迅(xun)速降(jiang)温(wen)，满(man)足材料骤(zhou)冷(leng)骤热的实(shi)验(yan)要求(qiu);

　　RTP快速(su)退(tui)火炉预(yu)留(liu)了真(zhen)空(kong)、气路(lu)快(kuai)速(su)接口(kou)，可配(pei)合我司真空(kong)系(xi)统、混气系(xi)统使用;预留(liu)了(le)485转(zhuan)换接口，可(ke)通过我(wo)司软件(jian)，与(yu)计(ji)算机互(hu)联(lian)，可实现(xian)单台(tai)或者(zhe)多台(tai)电炉的远程(cheng)控制(zhi)、实(shi)时(shi)追(zhui)踪(zong)、历(li)史(shi)记录(lu)、输出报表(biao)等功(gong)能(neng);

　　RTP快(kuai)速退火炉设(she)置(zhi)超(chao)温报警并断电(dian)，漏电(dian)保护(hu)，操(cao)作(zuo)安(an)全(quan)可靠(kao)。