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1200度小(xiao)型PECVD系(xi)统
更(geng)新时间(jian)： 2025-02-27
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产(chan)品(pin)报价(jia)：
产(chan)品(pin)简(jian)介： PECVD系统(tong)是借助射频(pin)使(shi)含(han)有薄(bao)膜(mo)组(zu)成原(yuan)子(zi)的(de)气体电离，在(zai)局部(bu)形(xing)成等(deng)离(li)子(zi)体，而等(deng)离子体化(hua)学(xue)活性(xing)很(hen)强(qiang)，很容易发生反(fan)应(ying)，在基(ji)片上(shang)沉(chen)积出所期(qi)望的薄(bao)膜。集成(cheng)型PECVD系(xi)统PECVD-12IH-500A、1200℃小(xiao)型(xing)PECVD系(xi)统PECVD-12IH-4Z/G
详细(xi)资(zi)料(liao)：
产(chan)品(pin)用途
PECVD系(xi)统是借(jie)助射(she)频使(shi)含(han)有(you)薄膜组成原子(zi)的气(qi)体电(dian)离(li)，在局部形(xing)成(cheng)等(deng)离(li)子体，而(er)等(deng)离(li)子体(ti)化(hua)学活性(xing)很(hen)强，很(hen)容易发(fa)生反应，在(zai)基片上沉积(ji)出所(suo)期(qi)望(wang)的(de)薄膜。
产(chan)品组成(cheng)
PECVD系统(tong)配置；
1.1200度(du)开启式(shi)滑动(dong)单温区真空(kong)管(guan)式炉
2.等(deng)离子射(she)频电源(yuan)
3.多路质(zhi)量(liang)流(liu)量控(kong)制系(xi)统
4.真(zhen)空系(xi)统(tong)（单独(du)购买(mai)）
产品(pin)特(te)点
电源范(fan)围(wei)广；温度范围宽(kuan)；溅(jian)射区域(yu)长(zhang)；整(zheng)管可调(diao)；精致(zhi)小巧(qiao)，性价(jia)比(bi)高(gao)，可(ke)实(shi)现(xian)快(kuai)速升(sheng)降(jiang)温(wen)，是(shi)实(shi)验(yan)室生长薄(bao)膜(mo)石墨烯，金(jin)属薄(bao)膜(mo)，陶(tao)瓷(ci)薄膜，复合薄(bao)膜(mo)等的(de)理想(xiang)选择，也可(ke)作(zuo)为(wei)扩展(zhan)等(deng)离子清(qing)洗刻(ke)蚀(shi)使用。
系统(tong)名称 | 集成(cheng)型(xing)PECVD系统 | 1200℃小(xiao)型(xing)PECVD系统 |
系(xi)统型号 | PECVD-12IH-500A | PECVD-12IH-4Z/G |
控(kong)制方式(shi) | 液晶(jing)屏微PLC控制(zhi)系(xi)统(tong) | 手动 |
极限(xian)温度(du) | 1200℃ | |
加热区长度(du) | 200mm | |
恒(heng)温(wen)区长度(du) | 100mm | |
温区 | 单(dan)温(wen)区(qu) | |
石英管管(guan)径(jing) | Φ60mm | Φ50mm |
额(e)定功率 | 1.2Kw | 2Kw |
额定电(dian)压 | 220V | |
滑动(dong)方式及(ji)距(ju)离(li) | 自动滑(hua)动(dong);200mm | 手(shou)动(dong)滑动;200mm |
温(wen)度控制 | 30段(duan)程序控(kong)温 | 50段(duan)程(cheng)序控温(wen) |
控制精度(du) | ±1℃ | |
炉(lu)管极(ji)限(xian)工作(zuo)温度 | ＜1200℃ | |
气(qi)路法(fa)兰(lan) | 采(cai)用(yong)多(duo)环(huan)密封技(ji)术(shu)卡(ka)箍(gu)快速连(lian)接(jie) | |
排风(feng)冷(leng)却装置 | 的(de)空气(qi)隔热(re)技(ji)术，结(jie)合(he)热感应技术，当(dang)炉体表(biao)面(mian)温升(sheng)到(dao)50℃时， 排(pai)温风扇将(jiang)自动(dong)启动，使炉体表(biao)面快(kuai)速(su)降温。 | |
气体(ti)控制(zhi)方(fang)式 | 质(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)计（按(an)键式） | |
气路(lu)数量 | 2路（2-4路(lu)） | 4路（可(ke)根据具(ju)体(ti)需要(yao)选配(pei)气路数(shu)量(liang)） |
流(liu)量范围(wei) | 0-500sccm(标准(zhun)毫(hao)升/分，可选配）氮(dan)气(qi)标(biao)定(ding) | |
精度(du) | ±1%F.S | |
响应时(shi)间(jian) | 1sec | |
工(gong)作(zuo)温(wen)度(du)（流量计） | 20-120℃ | |
工(gong)作压(ya)力(li) | 进(jin)气压(ya)力0.05-0.3Mpa(表(biao)压(ya)力(li)） | |
进气方式(shi) | 采用防(fang)倒(dao)流设计(ji) | |
规格(ge) | 中真空(kong)（集成型请单(dan)独(du)购买） | |
系(xi)统(tong)真空范(fan)围(wei) | 10Pa-100Pa | |
真空泵 | 双(shuang)级机械(xie)泵理(li)论极(ji)限(xian)真空(kong)度3x10-1Pa，抽气(qi)速(su)率(lv)4L/S（选(xuan)配(pei)：其(qi)他抽速真空泵(beng)）,出(chu)气口配有油污过(guo)滤(lv)器，额定(ding)电压220V，功率(lv)0.55Kw | |
信(xin)号(hao)频(pin)率 | 13.56MHz±0.005% | |
功(gong)率(lv)输(shu)出范围(wei) | 0W-500W | 0W-100W |
大反(fan)射(she)功(gong)率 | 350W | 30W |
射(she)频输出(chu)接(jie)口 | 50Ω，N-type,temale | |
功(gong)率(lv)稳定度 | ±0.1% | |
谐波分(fen)量 | ≤-50dbc | |
供(gong)电(dian)电压 | 单相(xiang)交流（187V-253V)频(pin)率(lv)50/60HZ | |
整(zheng)机(ji)功率 | ≥70% | |
屏(ping)幕(mu)显示(shi) | 正(zheng)方(fang)向(xiang)功(gong)率(lv)，匹配器(qi)电(dian)容位置，偏置(zhi)电压值(zhi) | |
炉体(ti)外形尺(chi)寸(cun) | 290×350×340mm | 290×350×495mm |
系(xi)统外形尺寸 | 420×1440×1100mm | 530×2310×750mm |
系(xi)统(tong)总重(zhong)量(liang) | 270Kg | |
| 如(ru)果你对(dui)该产品(pin)感兴(xing)趣，想了解(jie)更(geng)详(xiang)细(xi)的(de)产品信(xin)息(xi)，填写下(xia)表直(zhi)接与厂(chang)家(jia)联(lian)系(xi)： |
