产(chan)品(pin)目(mu)录 / Product catalog
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1200℃集成(cheng)型(xing)自动(dong)小(xiao)型(xing)PECVD系(xi)统
更(geng)新时间： 2025-02-27
访(fang)问(wen)次(ci)数： 6831
产(chan)品(pin)报价：
产品(pin)简(jian)介： PECVD系统是借助射(she)频(pin)使含(han)有薄(bao)膜组(zu)成(cheng)原(yuan)子的气体(ti)电(dian)离(li)，在(zai)局部形(xing)成(cheng)等(deng)离子体，而等离(li)子(zi)体化学活(huo)性(xing)很强，很(hen)容易发(fa)生反(fan)应(ying)，在(zai)基(ji)片上(shang)沉积出所期望的薄(bao)膜。集(ji)成(cheng)型PECVD系统PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系统(tong)PECVD-12IH-4Z/G
详细(xi)资(zi)料(liao)：
产(chan)品用(yong)途(tu)
PECVD系(xi)统(tong)是借(jie)助射频使(shi)含有(you)薄(bao)膜(mo)组成(cheng)原子的气体(ti)电(dian)离(li)，在(zai)局(ju)部形(xing)成(cheng)等(deng)离子体(ti)，而等(deng)离(li)子(zi)体化(hua)学活性很强(qiang)，很容易发生反应(ying)，在(zai)基(ji)片上沉积出(chu)所期(qi)望的薄(bao)膜。
PECVD系(xi)统配(pei)置(zhi)；
1.1200度开(kai)启(qi)式滑(hua)动(dong)单(dan)温区(qu)真空(kong)管式炉
2.等离子(zi)射(she)频电(dian)源(yuan)
3.多(duo)路(lu)质量(liang)流量控(kong)制(zhi)系统(tong)
4.真空(kong)系统（单独(du)购买）
产品(pin)特(te)性;
电源范围广(guang)；温度范围(wei)宽；溅射区域(yu)长；整(zheng)管可调(diao)；精致(zhi)小巧，性(xing)价比高，可实现快速(su)升降(jiang)温，是实验(yan)室生长薄(bao)膜(mo)石墨(mo)烯，金属薄(bao)膜，陶(tao)瓷(ci)薄(bao)膜，复(fu)合(he)薄膜(mo)等的理(li)想选择(ze)，也可(ke)作(zuo)为扩(kuo)展等离(li)子(zi)清洗(xi)刻(ke)蚀使用(yong)。
系统(tong)名(ming)称(cheng) | 集成(cheng)型(xing)PECVD系统 | 1200℃小型PECVD系统(tong) |
系统(tong)型(xing)号 | PECVD-12IH-500A | PECVD-12IH-4Z/G |
控制方(fang)式 | 液晶屏微(wei)PLC控(kong)制(zhi)系(xi)统(tong) | 手动(dong) |
极限(xian)温度(du) | 1200℃ | |
加(jia)热区(qu)长度 | 200mm | |
恒温区(qu)长度(du) | 100mm | |
温(wen)区(qu) | 单(dan)温(wen)区(qu) | |
石(shi)英管管(guan)径 | Φ60mm | Φ50mm |
额定功率(lv) | 1.2Kw | 2Kw |
额定电(dian)压(ya) | 220V | |
滑(hua)动(dong)方式及(ji)距(ju)离(li) | 自(zi)动滑(hua)动;200mm | 手动(dong)滑动(dong);200mm |
温(wen)度控(kong)制 | 30段程序控温(wen) | 50段(duan)程序(xu)控温 |
控制(zhi)精(jing)度 | ±1℃ | |
炉(lu)管极限(xian)工(gong)作温(wen)度(du) | ＜1200℃ | |
气(qi)路法(fa)兰 | 采用(yong)多(duo)环密封(feng)技(ji)术(shu)卡(ka)箍(gu)快(kuai)速(su)连(lian)接 | |
排(pai)风(feng)冷(leng)却装(zhuang)置 | 的空(kong)气(qi)隔(ge)热技术，结(jie)合(he)热感应技术(shu)，当炉体(ti)表面(mian)温(wen)升到(dao)50℃时(shi)， 排温(wen)风(feng)扇(shan)将(jiang)自(zi)动启(qi)动(dong)，使炉体表(biao)面(mian)快速(su)降(jiang)温。 | |
气体控制(zhi)方(fang)式 | 质量流量(liang)计（按键式(shi)） | |
气(qi)路数(shu)量(liang) | 2路(lu)（2-4路） | 4路（可(ke)根(gen)据具体需要(yao)选(xuan)配气(qi)路(lu)数量(liang)） |
流量(liang)范(fan)围(wei) | 0-500sccm(标(biao)准(zhun)毫升/分，可(ke)选(xuan)配(pei)）氮气(qi)标(biao)定(ding) | |
精(jing)度(du) | ±1%F.S | |
响(xiang)应时(shi)间 | 1sec | |
工作温(wen)度（流量计(ji)） | 20-120℃ | |
工(gong)作(zuo)压(ya)力(li) | 进(jin)气压力(li)0.05-0.3Mpa(表压力） | |
进气(qi)方式(shi) | 采(cai)用(yong)防倒流(liu)设(she)计 | |
规格(ge) | 中(zhong)真空（集(ji)成型(xing)请(qing)单(dan)独购买） | |
系(xi)统(tong)真空(kong)范围 | 10Pa-100Pa | |
真空(kong)泵(beng) | 双(shuang)级(ji)机械泵(beng)理论(lun)极(ji)限(xian)真(zhen)空度(du)3x10-1Pa，抽气(qi)速(su)率(lv)4L/S（选配(pei)：其(qi)他(ta)抽(chou)速(su)真空泵(beng)）,出(chu)气口配(pei)有(you)油(you)污过滤器(qi)，额(e)定(ding)电(dian)压(ya)220V，功(gong)率0.55Kw | |
信号(hao)频(pin)率 | 13.56MHz±0.005% | |
功率(lv)输出(chu)范(fan)围 | 0W-500W | 0W-100W |
大反(fan)射功率 | 350W | 30W |
射频(pin)输出(chu)接(jie)口 | 50Ω，N-type,temale | |
功率(lv)稳(wen)定(ding)度(du) | ±0.1% | |
谐波(bo)分量 | ≤-50dbc | |
供(gong)电电(dian)压 | 单(dan)相(xiang)交流（187V-253V)频(pin)率(lv)50/60HZ | |
整机(ji)功(gong)率(lv) | ≥70% | |
屏幕(mu)显示(shi) | 正方(fang)向(xiang)功(gong)率，匹配器(qi)电(dian)容位(wei)置，偏(pian)置电压值 | |
炉(lu)体外(wai)形(xing)尺寸 | 290×350×340mm | 290×350×495mm |
系(xi)统(tong)外(wai)形尺寸 | 420×1440×1100mm | 530×2310×750mm |
系统(tong)总重量 | 270Kg | |
| 如果(guo)你(ni)对(dui)该产品(pin)感兴(xing)趣(qu)，想(xiang)了(le)解(jie)更详细的(de)产(chan)品(pin)信息(xi)，填写下表(biao)直接与(yu)厂(chang)家联(lian)系： |
