产(chan)品目(mu)录 / Product catalog
1200℃双(shuang)管滑(hua)动式(shi)单温区/多温(wen)区(qu)CVD系统
更(geng)新(xin)时(shi)间(jian)： 2024-10-28
访(fang)问(wen)次数： 7345
产(chan)品(pin)报(bao)价：
产(chan)品(pin)简(jian)介： 产(chan)品(pin)用途(tu)：此(ci)款CVD系(xi)统是(shi)专(zhuan)门为在金属(shu)箔上生长(zhang)薄膜(mo)而(er)设计，特别(bie)是应用(yong)在(zai)新(xin)一(yi)代能(neng)源关(guan)于(yu)柔(rou)性(xing)金属(shu)箔(bo)电极方面的(de)研(yan)究(jiu)，通(tong)过(guo)滑动炉实(shi)现(xian)快(kuai)速(su)加热和冷却(que)。
详细资料(liao)：
1200℃双(shuang)管(guan)滑动式(shi)单温(wen)区/多温区CVD系(xi)统(tong)产品用途：
此(ci)款CVD系统(tong)是(shi)专(zhuan)门为(wei)在金(jin)属(shu)箔(bo)上(shang)生长薄膜(mo)而(er)设(she)计(ji)，特别是(shi)应用(yong)在(zai)新(xin)一(yi)代(dai)能(neng)源关于(yu)柔性(xing)金(jin)属(shu)箔(bo)
电极方(fang)面的(de)研(yan)究，通过(guo)滑动炉实现快(kuai)速加热和冷(leng)却(que)。
产品组(zu)成(cheng)：
CVD系(xi)统配置(zhi)：
1、1200度(du)开(kai)启式(shi)真空管式(shi)炉(lu)（可选(xuan)配(pei)单温(wen)区(qu)及(ji)双温区(qu)）。
2、滑动系(xi)统分为手(shou)动、电动滑动(dong)，并配有(you)风(feng)冷(leng)系(xi)统。
3、内(nei)外双石(shi)英管，采用真空(kong)可通气氛(fen)双(shuang)法(fa)兰特殊连(lian)接(jie)。
4、多路(lu)气(qi)体(ti)流(liu)量(liang)控(kong)制系统（质(zhi)子(zi)流(liu)量控(kong)制(zhi)器和浮(fu)子流(liu)量(liang)控制(zhi)器(qi)）
5、真(zhen)空系(xi)统（可(ke)选配中真空(kong)或(huo)高(gao)真空）
1200℃双管滑动(dong)式单温(wen)区/多(duo)温(wen)区CVD系统(tong)产品(pin)特点(dian)：
1、控(kong)制(zhi)电路(lu)选(xuan)用模糊PID程(cheng)控(kong)技(ji)术，该(gai)技(ji)术控(kong)温精(jing)度高(gao)，热(re)惯性(xing)小，温(wen)度不(bu)过冲(chong)，性能(neng)可靠(kao)，操作简(jian)单(dan)。
2、中真空(kong)系统(tong)具(ju)有(you)真(zhen)空度上(shang)下限自动控(kong)制功(gong)能，高(gao)真空(kong)系(xi)统采用高(gao)压强(qiang)，耐(nai)冲(chong)击分子泵，防(fang)止(zhi)意外漏(lou)气造(zao)成分子(zi)泵损(sun)坏(huai)，延(yan)长(zhang)系统(tong)使(shi)用(yong)寿(shou)命。
3、(电动)滑动(dong)系统(tong)采用温(wen)度(du)控制器(qi)自动(dong)控(kong)制(zhi)炉体(ti)移动，等程(cheng)序完(wan)成(cheng)，炉体按设(she)定(ding)的(de)速(su)度滑动，因(yin)有(you)滑动(dong)限(xian)位功(gong)能，炉(lu)体不(bu)会(hui)发(fa)生(sheng)碰撞(zhuang)，待(dai)样品露出炉(lu)体(ti)后，通过(guo)风冷系统(tong)快(kuai)速(su)降温。
4、双(shuang)管(guan)真空(kong)密(mi)封法(fa)兰，反(fan)应(ying)气(qi)体(ti)可(ke)以在内(nei)外管(guan)之间发生反(fan)应，冷(leng)却(que)气(qi)体可(ke)通(tong)过(guo)内(nei)管，从(cong)而(er)使内(nei)管(guan)外壁温度降(jiang)低。
产(chan)品图片：
技术参数：
| 系(xi)统(tong)名(ming)称 | 1200℃双(shuang)管滑(hua)动式(shi)单(dan)/多(duo)温区CVD系统(tong) | |
| 系(xi)统(tong)型号(hao) | CVD-12II6SH-3Z/G | CVD-12III9SH-3Z/G |
| 极限(xian)温(wen)度(du) | 1200℃ | |
| 加(jia)热(re)区(qu)长(zhang)度(du) | 610mm | 940mm |
| 恒(heng)温(wen)区长(zhang)度 | 400mm | 700mm |
| 温(wen)区 | 双(shuang)温(wen)区 | 三(san)温区 |
| 石(shi)英管管径 | 内管(guan)：Φ80mm 外管(guan)：Φ100mm | |
| 额(e)定功(gong)率(lv) | 4.8Kw | 7.2Kw |
| 额(e)定电(dian)压 | 220V | 380V（三相） |
| 滑动(dong)距离(li) | 485mm | 650mm |
| 滑(hua)动方(fang)式 | 手(shou)动(dong)滑动(dong)/自(zi)动滑(hua)动(由温度(du)控(kong)制(zhi)器(qi)自(zi)动控(kong)制移动(dong)，当程(cheng)序完成，炉(lu)子(zi)按设(she)定(ding)的(de)速度滑(hua)动） | |
| 温(wen)度(du)控(kong)制(zhi) | 国(guo)产(chan)程序(xu)控(kong)温(wen)系统(tong)50段程序(xu)控(kong)温； | |
| 控制(zhi)精(jing)度 | ±1℃ | |
| 炉管(guan)极限(xian)工(gong)作(zuo)温度(du) | ＜1200℃ | |
| 双管法(fa)兰(lan)连接 | 采用(yong)双法(fa)兰双(shuang)卡(ka)箍连(lian)接可扩(kuo)展(zhan)多功能(neng)，并且分(fen)别(bie)独(du)立(li)对内管和(he)外(wai)管(guan)进(jin)行真(zhen)空和(he)气(qi)体(ti)流(liu)量(liang)控(kong)制.密封(feng)法兰(lan)与(yu)管件(jian)连接的地方(fang)采用(yong)多环(huan)密封技(ji)术，在(zai)密(mi)封法兰(lan)与管(guan)外(wai)壁(bi)间形(xing)成了(le)密(mi)封(feng)，在(zai)管(guan)件外径(jing)误差(cha)较(jiao)大(da)的(de)情况(kuang)下密封仍然有(you)效，该密封法兰的安(an)装只(zhi)需在*使用设备的时候安装(zhuang) | |
| 气(qi)体控(kong)制(zhi)方(fang)式 | 质(zhi)量流(liu)量(liang)计(ji) | |
| 气路数量(liang) | 3路（可根(gen)据(ju)具体(ti)需要(yao)选配气(qi)路(lu)数(shu)量） | |
| 流(liu)量范围 | 0-500sccm(标准毫(hao)升/分(fen)，可选(xuan)配）氮(dan)气(qi)标定(ding) | |
| 精(jing)度 | ±1%F.S | |
| 响(xiang)应(ying)时(shi)间(jian) | ≤4sec | |
| 工作(zuo)温度 | 5-45℃ | |
| 工(gong)作(zuo)压力(li) | 进(jin)气压力0.05-0.3Mpa(表(biao)压(ya)力） | |
| 系(xi)统连接(jie)方(fang)式(shi) | 采(cai)用(yong)KF快(kuai)速(su)连(lian)接波(bo)纹(wen)管、高(gao)真(zhen)空(kong)手动(dong)挡板(ban)阀(fa)及数显(xian)真空测(ce)量(liang)仪(yi) | |
| 规格(ge) | 高(gao)真空 | |
| 系(xi)统(tong)真(zhen)空范(fan)围 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
| 真(zhen)空(kong)泵 | 真(zhen)空分(fen)子(zi)泵理论极限(xian)真(zhen)空(kong)度(du) | |
| 炉体(ti)外形(xing)尺(chi)寸(cun) | 480×770×605mm | 410×1100×605mm |
| 系(xi)统外形尺(chi)寸 | 530×1440×750mm(不(bu)含高(gao)真空) | |
| 系(xi)统(tong)总重(zhong)量 | 340Kg | |
| 如果(guo)你(ni)对(dui)该产(chan)品(pin)感(gan)兴(xing)趣，想了解(jie)更(geng)详(xiang)细(xi)的(de)产品(pin)信息，填写下(xia)表直(zhi)接与厂家(jia)联(lian)系(xi)： |
